Verfahren: MMF + ACF + 2-stufiges RO + EDI + MB + UV + SF
Anwendung: Herstellung von ultrareinem Wasser für die Halbleiterindustrie
Standort: Hanaizumi, Japan
Speisewasser: Japanisches kommunales Leitungswasser
Leitfähigkeit des Speisewassers: 290 μS/cm & 310 μS/cm
Systemwiederherstellungsrate: 60%
Maximaler Wasserverbrauch: 10 m³/h
Produkt Wasserqualität: Widerstandswert >18 MΩ-cm
Das Produktwasser entspricht der Norm ASTM D5127-07 Typ E1.1 und zeichnet sich durch extrem niedrige Verunreinigungswerte aus. Es wurde speziell für Hochreinheitsprozesse in der Halbleiterchip-Herstellung entwickelt und stellt den höchsten Grad an Wasserreinheit dar.

