Processo: MMF + ACF + RO a 2 stadi + EDI + MB + UV + SF
Applicazione: Produzione di acqua ultrapura per l'industria dei semiconduttori
Posizione: Hanaizumi, Giappone
Acqua di alimentazione: Acqua di rubinetto comunale giapponese
Conducibilità dell'acqua di alimentazione: 290 μS/cm e 310 μS/cm
Tasso di recupero del sistema: 60%
Consumo massimo di acqua: 10 m³/h
Qualità dell'acqua del prodotto: Resistività >18 MΩ-cm
L'acqua prodotta è conforme agli standard ASTM D5127-07 Tipo E1.1, con livelli di impurità estremamente bassi. È progettata specificamente per i processi ad alta pulizia nella produzione di chip per semiconduttori e rappresenta il massimo grado di purezza dell'acqua.

